《GB／T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法》是现行国家标准（GB/T 推荐性标准），适用于相关行业产品生产、检验、工程实施与质量管理的技术依据。本文件对适用范围、术语定义、技术要求、试验方法、检验规则等内容作出了明确规定，条文完整、数据严谨，便于技术人员对照执行。本文件可作为相关生产企业、检验检测机构、工程设计与施工单位的日常工作参考，也是质量管理体系建设和产品标准化的重要依据。
《GB／T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法》是现行国家标准（GB/T 推荐性标准），适用于相关行业产品生产、检验、工程实施与质量管理的技术依据。本文件对适用范围、术语定义、技术要求、试验方法、检验规则等内容作出了明确规定，条文完整、数据严谨，便于技术人员对照执行。本文件可作为相关生产企业、检验检测机构、工程设计与施工单位的日常工作参考，也是质量管理体系建设和产品标准化的重要依据。
GB／T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
